Atomic Note
Physical Parameter: TBD
Red Line Consequence: TBD
Physical Signal: TBD
Backlinks
Validation
Data Source: TBD
Context: TBD
Cleanroom Positive Pressure Maintenance
正压控制是防止外部污染倒灌的关键屏障。
触发条件说明
IF cleanroom positive pressure differential falls below 10-15 Pa during operation
执行动作
THEN immediately check air supply system, adjust to maintain ≥10-15 Pa, and investigate potential leakage paths
作用范围
环境监控|洁净区控制
物理锚点(关键参数与监测方法)
- 压差标准: ≥10-15Pa(洁净区vs非洁净区)
- 检查频次: 每班记录
- 监测位置: 关键区域压差计
- 维持措施: 调整送风量,检查密封
安全红线
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 级别 | warning |
| 禁止行为 | 洁净区正压不足未及时调整 |
| 后果 | 负压导致外部空气倒灌,引入污染 |