Atomic Note

Physical Parameter: TBD

Red Line Consequence: TBD

Physical Signal: TBD

Validation

Data Source: TBD

Context: TBD

Cleanroom Positive Pressure Maintenance

正压控制是防止外部污染倒灌的关键屏障。

触发条件说明

IF cleanroom positive pressure differential falls below 10-15 Pa during operation

执行动作

THEN immediately check air supply system, adjust to maintain ≥10-15 Pa, and investigate potential leakage paths

作用范围

环境监控|洁净区控制

物理锚点(关键参数与监测方法)

  • 压差标准: ≥10-15Pa(洁净区vs非洁净区)
  • 检查频次: 每班记录
  • 监测位置: 关键区域压差计
  • 维持措施: 调整送风量,检查密封

安全红线

项目内容
级别warning
禁止行为洁净区正压不足未及时调整
后果负压导致外部空气倒灌,引入污染

关联参考